智能传感器系统

三星正开发智能传感器系统

据外媒报道,三星正在开发智能传感器系统,用于控制和管理半导体工艺。这项新技术有望提高半导体良率和生产率,预计将应用于无人驾驶和人工智能(AI)半导体制造过程。据悉,三星电子正在开发的智能传感器是超小型的,不会对现有设备空间造成太大影响,将用于测量晶圆的等离子体均匀性。该公司的这一举措有助于降低其对外国传感器的依赖程度。